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中科院微電子研究所KWD大型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x200-600mm

更新時(shí)間：2026-01-08

簡(jiǎn)要描述：

        中科院微電子研究所KWD大型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x200-600mm

       > 參數(shù)：手動(dòng)旋鈕控制 
        > 基片尺寸φ200-φ600mm圓片、500x500mm2方片 
        > 轉(zhuǎn)速：200-2000轉(zhuǎn)/分 
        > 顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1，膠的均勻性±5% 
        > 勻膠階段：2段 
        > 勻膠時(shí)間：3-60s可調(diào) 
        > 電機(jī)功率：320W 
        > 儀器尺寸：980mmx855mmx855mm 
        > 適用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料

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